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포스텍 연구팀, 빛으로 다중 나노 패턴 제작

쉽고 간단하게 차세대 반도체 패턴화 기술 개발

성민규 기자입력 : 2017.12.05 17:17:26 | 수정 : 2017.12.05 17:14:35

포스텍 김진곤 교수. 포스텍 제공

포스텍 화학공학과 지능형 블록공중합체 자기조립연구단 김진곤 교수, 석·박사 통합과정 최청룡씨가 자외선을 이용, 자외선을 쬔 부분의 패턴을 변화시키는 간단한 방법을 통해 한 기판 위에 여러 형태의 나노 구조를 동시에 구현하는 시스템을 개발했다.

이 연구는 네이처 자매지 '네이처 커뮤니케이션즈(Nature Communications)' 온라인판을 통해 발표됐다.

연구팀은 반도체 소자에 작고 다양한 패턴을 많이 넣기 위해 블록공중합체의 자기조립 성질에 주목했다.

블록공중합체는 단 하나의 나노구조만 가지기 때문에 그 동안 다양한 패턴을 만들기 위해선 많은 비용을 들여 복잡한 절차를 거쳐야 했다.

연구팀은 자외선을 통해 이 한계를 넘었다.

빛에 의해 나노패턴이 변화하는 모식도. 마스크 아래에서 자외선이 가려진 부분은 점 모양의 나노구조가 유지되지만 자외선을 쬐어준 부분은 선 모양으로 변화한다. 포스텍 제공

분자 설계 자체를 자외선을 받으면 변화하도록 했고 반도체 기판에 자외선을 쬐어주자 패턴이 변하는 것을 확인했다.

특히 포토마스크를 통해 빛 쬐는 부위를 자유자재로 조정할 수 있어 이 기술을 이용하면 특정 부분은 점(Dot) 형태, 다른 부분은 선(Line) 형태를 지닌 나노 패턴을 동시에 제작할 수 있게 된다.

연구를 주도한 김진곤 교수는 "이 연구는 점점 소형화, 고집적화되는 반도체 제작에 필요한 다양한 나노구조를 하나의 기판에서 동시에 구현할 수 있어 차세대 반도체 패턴화 기술 발전에 큰 도움 줄 것"이라고 내다봤다.    

한편 이 연구는 과학기술정보통신부의 '창의적 연구진흥 사업'과 LG화학의 지원으로 수행됐다.

포항=성민규 기자 smg511@hanmail.net

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 




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