세라믹기술원, 400억 투입 반도체 챔버 소재·부품 원스톱 테스트베드 구축

한국세라믹기술원이 산업통상자원부가 주관한 ‘반도체 장비 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축’ 공모사업에 최종 선정됐다. 이번 사업은 구미 반도체 특화단지 내에 반도체 장비용 소재·부품을 직접 제작하고 성능을 검증할 수 있는 인프라를 구축하는 프로젝트로, 올해부터 오는 2030년까지 5년간 총 400억 원이 투입된다. 반도체 챔버는 웨이퍼가 실제 공정을 수행하는 핵심 공간으로, 고온·극저온·플라스마·화학반응 등 극한 환경에 지속적으로 노출된다. 이에 따라 챔버 내부에 적용되는 소재와 부품의 성...

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